Lai izpildītu augstās-standarta bezputekšņu-prasības attiecībā uz pusvadītāju precizitātes ražošanu, optisko pārbaudi un automatizētām iekārtām un vēl vairāk uzlabotu precīzās granīta pamatnes precizitātes stabilitāti un kalpošanas laiku, mūsu uzņēmums ir optimizējis un ieviesis standartizētas putekļu-bezputekļu tīrīšanas specifikācijas pusvadītāju ražošanas līnijās izmantotajām granīta pamatnēm. Pamatojoties uz daudzu gadu precīzas akmens apstrādes pieredzi un reāliem pusvadītāju darbnīcu pielietošanas scenārijiem, standartizētā un sistemātiskā darbība nodrošina augstas klases iekārtu ilgtermiņa-salīdzinājuma precizitāti.
Pusvadītāju iekārtām ir nepieciešama ārkārtīgi augsta vides tīrība un plakanuma precizitāte. Kā galvenā etalona sastāvdaļa granīta pamatnes ir ļoti jutīgas pret sīkiem putekļiem, šķiedru plūksnām, eļļas traipiem un mitruma atlikumiem uz virsmas. Pat nelieli piesārņotāji var izraisīt noteikšanas kļūdas, pozicionēšanas novirzes un objektīva fokusēšanas novirzes, kas tieši ietekmē pusvadītāju izstrādājuma iznākumu. Pateicoties granīta dabiskajai mikroporainai struktūrai, smalkās daļiņas viegli adsorbējas uz virsmas. Parastās tīrīšanas metodes nevar atbilst standartiem bez putekļiem{4}}, tāpēc profesionāla, stingra un sistemātiska tīrīšanas pārvaldības sistēma bez putekļiem ir būtiska.
Saskaņā ar 1000. klases un 10.000. klases bezputekļu-darbnīcu standartiem mūsu uzņēmums ir izveidojis pilnīgu tīrīšanas sistēmu bez putekļiem-, kas aptver septiņas galvenās dimensijas: tīrīšanas vide, profesionālie instrumenti, darbības procedūras, cikla pārvaldība, personāla specifikācijas, darbības aizliegumi un datu izsekojamība.
Attiecībā uz vides un instrumentu pārvaldību visas tīrīšanas darbības tiek veiktas nemainīgā -temperatūra un nemainīga-mitruma putekļu-zonā, lai novērstu nelielas deformācijas, ko izraisa mitruma uzsūkšanās. Mēs izmantojam īpašus tīrīšanas komplektus, kas nesatur putekļus-, tostarp mikrošķiedras lupatiņas bez putekļiem-, augstas-tīrības pakāpes etanola un slāpekļa putekļu pistoles. Parastas drānas, papīra dvieļi, krāna ūdens, skābie un sārmainie mazgāšanas līdzekļi ir stingri aizliegti, lai izvairītos no sekundāra piesārņojuma un virsmas bojājumiem.
Runājot par darbības procedūrām, mēs ieviešam trīs{0}}līmeņu standartizētu tīrīšanas mehānismu: ikdienas ikdienas tīrīšanu, iknedēļas dziļo tīrīšanu un ikmēneša profesionālu apkopi. Ikdienas peldošo putekļu noņemšana un vienvirziena tīrīšana{2}} nodrošina ikdienas darbības tīrību. Iknedēļas dziļā tīrīšana rūpīgi noņem adsorbētās daļiņas no malām, spraugām un montāžas caurumiem. Ikmēneša pilna apkope ietver iekārtu izslēgšanas tīrīšanu, precizitātes atkārtotu{5}pārbaudi, datu ierakstīšanu un putekļu necaurlaidīgu pārbaudi, lai saglabātu stabilu precizitāti ilgstošas lietošanas laikā.
Tikmēr visiem operatoriem tiek piemēroti stingri bezputekļu-darbības standarti. Visiem darbiniekiem ir jāsaņem profesionāla apmācība bez putekļiem- un jāvalkā pilnīgi bez putekļiem-formas un cimdi. Tieša kaila-roku saskare ar etalona virsmām ir aizliegta, lai izvairītos no mikro-piesārņojuma, ko izraisa ieelpotā gaisa plūsma, mati un šķiedras, tādējādi nodrošinot, ka katrs tīrīšanas process ir standartizēts un kontrolējams.
Lai garantētu produktu ilgtermiņa kvalitāti-, esam izveidojuši pilnīgu tīrīšanas uzskaiti un izsekojamības pārvaldību. Tīrīšanas laiks, operatori, vides parametri un atkārtotās pārbaudes dati tiek pilnībā arhivēti, lai izveidotu slēgtu-ciklu standartizētu pārvaldības sistēmu. Tas efektīvi novērš precizitātes pasliktināšanos, virsmas nelīdzenumus un noteikšanas novirzi, ko izraisa neregulāras tīrīšanas darbības.
Pašlaik šīs bezputekļus{0}tīrīšanas specifikācijas ir pilnībā piemērotas mūsu pusvadītāju-granīta pamatņu rūpnīcas pārbaudei, atkļūdošanas tīrīšanai un klientu norādījumiem. Nākotnē mēs turpināsim padziļināt precīzas granīta apstrādes un standartizētas apkopes sistēmas, nepārtraukti optimizēsim visu ražošanas, pulēšanas, pārbaudes un tīrīšanas procesu un nodrošināsim klientus pusvadītāju, optisko un augstas precizitātes iekārtu nozarēs ar augstu-precizitāti, augstu{5} stabilitāti un augstu{6}}tehniskās bāzes izstrādājumiem un profesionālu granīta pamatu.