Granīta iekārtas bāzes izvēle pusvadītāju aprīkojumam nav tikai materiāla izvēle un izmēru norādīšana. Pamatne bieži kļūst par daļu no iekārtas precizitātes sistēmas: tā atbalsta kustības posmus, vadotnes, optiskos moduļus, vafeļu -apstrādes ierīces, pārbaudes sistēmas un kritiskās mērījumu atsauces.
Pusvadītāju iekārtu ražotājiem, mehānikas inženieriem un iepirkumu komandām pareizajai bāzei ir jānodrošina vairāk nekā liela masa. Tam ir jānodrošina kontrolēta ģeometrija, piemērota vibrācijas darbība, uzticamas montāžas saskarnes, stabila ilgtermiņa veiktspēja un praktisks ceļš no rasējuma pārskatīšanas līdz galīgajai montāžai.
Precīzs granīts tiek plaši izmantots metroloģijā, optiskajā pārbaudē, pusvadītāju apstrādē, lāzerapstrādē un augstas precizitātes automatizācijā, jo tas var nodrošināt stabilu,-noturīgu pret koroziju, ne-magnētisku un precīzi{3}}apstrādājamu konstrukcijas platformu. Tā dabiskā vibrāciju -amortizācija un spēja atbalstīt precīzas atskaites virsmas padara to īpaši piemērotu sistēmām, kurās nelielas strukturālas izmaiņas var ietekmēt pozicionēšanu vai mērījumu atkārtojamību.
Šajā rokasgrāmatā ir izskaidroti inženiertehniskie faktori, kas jāpārskata, pirms pasūtāt pielāgotu granīta iekārtu pamatni pusvadītāju aprīkojumam.
1. Sāciet ar aprīkojuma precizitātes budžetu
Pirmais jautājums nav "Kāda izmēra granīta pamatne mums ir vajadzīga?" Tas ir: kāda precizitāte jāsasniedz visai mašīnai?
Pusvadītāju mašīna var ietvert lineāro motoru, gaisa gultņu, vadotņu, optisko sensoru, kameru, lāzera interferometru, vafeļu stadiju, vakuuma ķermeņu, zondes sistēmu vai robotu apstrādes moduļu kombināciju. Katra apakšsistēma rada iespējamās ģeometriskās, termiskās un dinamiskās kļūdas.
Granīta pamatnei ir jāatbalsta pilnīgas precizitātes budžets. Pirms bāzes projekta pabeigšanas inženieriem jādefinē:
- Nepieciešamā pozicionēšanas precizitāte un atkārtojamība
- Plakanuma, taisnuma, paralēlisma un perpendikularitātes prasības
- Ass gājiena garums un kustības ātrums
- Statiskā slodze, kustīgā slodze un slodzes sadalījums
- Pieļaujamais vibrācijas līmenis kritiskajos moduļos
- Apkārtējās vides temperatūras diapazons un termiskās{0}}kontroles apstākļi
- Nepieciešamās montāžas pozīcijas sliedēm, motoriem, kodētājiem, sensoriem un armatūru
- Montāžas un kalibrēšanas laikā izmantotās nulles atskaites
- Tīras telpas, ķīmiskās-noturības, elektriskās-izolācijas vai ne-magnētiskās prasības
A granīta struktūravar būt lielisks risinājums vafeļu pārbaudes platformai, AOI iekārtai, optiskajai mērīšanas sistēmai vai precīzas kustības stadijai. Tomēr galīgā ģeometrija, atbalsta izkārtojums, saskarnes un pārbaudes plāns ir jāveido ap faktisko iekārtu,{1}}nevis jākopē no standarta bloka.
Pusvadītāju iekārtām materiālu izvēlei jāievēro izmērītās inženiertehniskās prasības, piemēram, termiskā novirze, vibrācijas spektrs, slodzes apstākļi, pārvietošanās diapazons un integrācijas vajadzības. Precīzs granīts bieži tiek izvēlēts, ja iekārtai ir nepieciešama stabila atsauces platforma metroloģijai, optikai, vafeļu apstrādei, gaisa-gultņu kustībai vai garas-ceļošanas precizitātes asīm.
2. Novērtējiet granīta materiālu, ne tikai tā izskatu
Ne katrs tumšās{0}}krāsas akmens ir piemērots augstas-precizitātes aprīkojumam. Materiāla izvēle ietekmē gatavās detaļas stabilitāti, apstrādājamību, blīvumu, iekšējo konsistenci un spēju saglabāt kontrolētu ģeometriju pēc precīzas slīpēšanas un montāžas.
UNPARALLELED® izvēlas augsta{0} blīvuma melno granītu ar norādīto blīvumu aptuveni 3100 kg/m³, lai izmantotu precizitāti un stabilitāti. Mērķis nav tikai padarīt struktūru smagu. Jānovērtē piemērota granīta materiāla konsistence un piemērotība visā ražošanas procesā-no neapstrādāta-akmens atlases līdz neapstrādātai apstrādei, precīzai slīpēšanai, ieliktņu uzstādīšanai, pārbaudei, iepakošanai un uzstādīšanai.
Pārskatot piegādātāju, pieprasiet pieejamo materiālo informāciju un apspriediet paredzēto darbības vidi. Tas ir īpaši svarīgi lielām detaļām, daļām ar gariem neatbalstītiem laidumiem, vairāku-asu sistēmām vai konstrukcijām, kurās ir jutīgi optiskie un mērīšanas moduļi.
| Atlases faktors | Kāpēc tas ir svarīgi | Jautājumi, kas jāuzdod |
|---|---|---|
| Materiāla konsistence | Nekonsekvents akmens var ietekmēt apstrādes rezultātus un{0}}ilgtermiņa ģeometriju | Kā tiek atlasīts un pārbaudīts izejmateriāls? |
| Blīvums un struktūra | Ietekmē masu, stingrības uzvedību un amortizācijas īpašības | Kādus materiālus datus var sniegt? |
| Virsmas apdares iespēja | Nosaka piemērotību vadotnēm, metroloģijas virsmām un montāžas atskaites punktiem | Kādu plakanumu un raupjumu var panākt šim izmēram? |
| Ievietot integrāciju | Nosaka, kā sliedes, motori, sensori un armatūra savienojas ar pamatni | Kādi ieliktņu materiāli, līmēšanas metodes un pārbaudes procedūras tiek izmantotas? |
| Komponentu izmērs | Lielām konstrukcijām nepieciešama īpaša apstrāde, slīpēšana un pārbaude | Kādas ir piegādātāja maksimālās apstrādes un mērīšanas iespējas? |
| Vides piemērotība | Pusvadītāju aprīkojumam var būt nepieciešama tīra montāža un stabili apstākļi | Vai piegādātājs var atbalstīt tīru montāžu vai kontrolētu{0}}vides darbu? |
| Pārbaudes izsekojamība | Nodrošina pārliecību par galīgo ģeometriju un pieņemšanas procesu | Kādi instrumenti un kalibrēšanas ieraksti atbalsta pārbaudi? |
Granīts tiek novērtēts precīzās inženierijas jomā, ņemot vērā tādus parametrus kā izmēru stabilitāte, stingrība, izturība pret koroziju, ne-magnētiskā darbība un vibrācijas-slāpēšanas veiktspēja. Pareizs atbalsts un kontrolēta montāža ir vienlīdz svarīgi: pat ļoti precīzu granīta virsmu var ietekmēt nepiemērots atbalsta izvietojums.
3. Agri definējiet ģeometriju, punktus un funkcionālos interfeisus
Pielāgota granīta mašīnu bāze ir jāveido kā funkcionāla montāžas platforma, nevis tikai apstrādāta akmens sastāvdaļa.
Pirms ražošanas uzsākšanas zīmēšanas pakotnē skaidri jānorāda primārās un sekundārās bāzes virsmas. Šie dati nosaka, kā komponents tiks ražots, pārbaudīts, montēts, uzstādīts un vēlāk apkalpots. Ja dažādi piegādātāji būvē granīta pamatni, sliedes, skatuves un optiskos moduļus, neskaidri atskaites punkti var radīt izlīdzināšanas problēmas, no kurām var izvairīties galīgās integrācijas laikā.
Inženiertehniskajā rasējumā jānorāda:
- Kopējā garuma, platuma, augstuma un masas ierobežojumi
- Primārā montāžas virsma un atsauces virsmas
- Darba virsmu līdzenums
- Sliežu vai vadotņu montāžas virsmu taisnums
- Paralēlisms starp augšējo un apakšējo virsmu
- Perpendikulitāte starp vertikālajām un horizontālajām virsmām
- Caurumu vietas, vītņoti ieliktņi, bukses, uzmavas un dībeļu caurumi
- Kabeļu kanāli, vakuuma saskarnes, šķidruma{0}}maršrutēšanas funkcijas vai aizsargapvalki
- Nepieciešamie pacelšanas punkti un transportēšanas ierobežojumi
- Montāžas secība un uzstādīšanas orientācija
Piemēram, pusvadītāju pārbaudes platformai var būt divas precīzas sliedes-montāžas virsmas, lineāra-motora montāžas zona, kodētāja-atsauces līdzekļi, vītņoti ieliktņi vibrācijas-izolācijas sistēmai un precīzas darbgalda saskarne. Katrai saskarnei jāatrodas attiecībā pret vienu un to pašu bāzes stratēģiju.
Šeit ir svarīga piegādātāja inženierkomunikācija. Piedāvājums, kas balstīts tikai uz ārējiem izmēriem, var nebūt saistīts ar ieliktņu, montāžas virsmu, dziļu padziļinājumu, daudzlīmeņu virsmu vai pārbaudes prasību sarežģītību.
4. Apsveriet vibrācijas, kustības un atbalsta apstākļus
Pusvadītāju un metroloģijas iekārtās vibrācija nav sekundāra problēma. Pamatne var būt strukturāli izturīga, taču tā joprojām ir nepiemērota, ja tā neatbalsta iekārtas dinamiskās prasības.
- Pareizajā dizainā jāņem vērā:
- Uzstādīto moduļu masa un smaguma centrs
- Kustības posmu paātrinājums un palēninājums
- Motoru, sūkņu, ventilatoru un ārējā aprīkojuma frekvences raksturlielumi
- Grīdas vibrācija un ēkas -traucējumi
- Izolācijas sistēmas, izlīdzināšanas stiprinājumi un mašīnu kājas
- Atbalsta punktu skaits un izvietojums
- Saistība starp vadotnes pozīcijām un slodzes ceļiem
Granīta pamatne var palīdzēt samazināt vibrācijas ietekmi tās dabiskās iekšējās slāpēšanas izturēšanās dēļ, jo īpaši, ja ir iesaistīta augstas-precizitātes kustība vai optiskie mērījumi. Tomēr materiāls pats par sevi nevar atrisināt visas dinamiskās problēmas. Atbalsta rāmis, izolācijas sistēma, grīdas stāvoklis, kustīgā masa un kustības profils ir jāvērtē kā viena sistēma.
CMM granīta pamatnei vai granīta metroloģijas pamatnei precīza atbalsta pozicionēšana ir īpaši svarīga. Granīta virsmas plāksnes parasti tiek atbalstītas noteiktos punktos, lai novērstu kropļojumus un saglabātu precīzus rādījumus.starrett
Praktiskā projektā OEM var būt nepieciešama 4500 mm{2}}gara granīta pamatne pusvadītāju optiskās pārbaudes sistēmai. Pamatne atbalsta divas lineāras vadotnes, ātrdarbīgu-portālu, kameru moduļus, vakuuma darbgaldu un kabeļu{5}}pārvaldības saskarnes. Šādā gadījumā piegādātājam ir jāpārskata ne tikai pamatnes izmēri, bet arī kustīgais-masas profils, attālums starp sliedēm, mašīnas pēdas, pacelšanas metode, atbalsta izvietojums un galīgā uzstādīšanas vide.
5. Saskaņojiet pielaidi reālajam lietojumam
Stingrāka pielaide ne vienmēr ir labāka, ja tā neveicina mašīnas veiktspēju. Tas var palielināt izpildes laiku, ražošanas sarežģītību, pārbaudes prasības un izmaksas, neuzlabojot galīgo sistēmu.
Pareizā pieeja ir noteikt, kurām virsmām ir -funkcijai izšķiroša nozīme.
Pusvadītāju kustības platformai visprasīgākās pielaides var attiekties uz:
- Lineāras{0}}vadošās montāžas virsmas
- Gaisa{0}}atskaites virsmas
- Optiskās{0}}moduļa montāžas virsmas
- Kodētāja vai mēroga uzstādīšanas dati
- Precīzas darbgaldu saskarnes
- Zondes, kameras vai sensora montāžas zonas
Citām virsmām var būt nepieciešama tikai vispārīga izmēru kontrole, atstarpe pārsegiem vai ne-kritiskas montāžas saskarnes. Šo prasību diferencēšana ļauj granīta piegādātājam koncentrēt precīzas slīpēšanas un pārbaudes darbus tur, kur tam ir vislielākā vērtība.
Tāpēc pilnīgam zīmējumam ir jāatdala:
- Kritiskās precizitātes virsmas
- Funkcionālas montāžas virsmas
- Vispārējās konstrukcijas virsmas
- Kosmētiskās vai ne{0}}funkcionālās zonas
Šī pieeja palīdz izveidot praktisku,{0}}ekonomiski izdevīgu pielāgotu granīta iekārtu bāzi, neapdraudot kritisko ģeometriju, kas atbalsta iekārtas precizitāti.
6. Pārbaudiet ražošanas un pārbaudes iespējas
Piegādātāja publicētais maksimālais izmērs ir tikai viena kvalifikācijas procesa daļa. Lieliem precīzijas granīta komponentiem klientiem jāapstiprina, ka piegādātājs var apstrādāt visu ražošanas ķēdi.
UNPARALLELED® pārvalda divas ražotnes, kuru kopējā platība ir aptuveni 200 000 m², kā arī speciāla neapstrādāta akmens uzglabāšanas telpa aptuveni 20 000 m². Uzņēmuma lielās-komponentu iespējas ietver atsevišķas sagataves līdz aptuveni 100 tonnām, 20 m garas, 4000 mm platas un 1000 mm biezas atkarībā no detaļu konstrukcijas un ražošanas prasībām.
Pusvadītāju projektam piegādātājam jāspēj izskaidrot, kā komponents būs:
- Atlasīts no piemērota izejmateriāla
- Rupji apstrādāts un stabilizēts
- Droši pārvietots katrā ražošanas posmā
- Noslīpēts un apšūts uz atbilstošām precīzām virsmām
- Aprīkots ar vītņotiem ieliktņiem, buksēm, sliedēm vai citām saskarnēm
- Pārbaudīts pēc apstiprinātā rasējuma
- Aizsargāts nosūtīšanai un uzstādīšanai
UNPARALLELED® izmanto klimata{0}} un mitruma-kontrolētas ražošanas un pārbaudes zonas, tostarp īpašu tīru montāžas vidi precīziem granīta mezgliem. Tās pārbaudes iespējas ietver iekārtas no Mahr, Mitutoyo, WYLER, Renishaw un citiem atzītiem piegādātājiem, ko atbalsta kalibrēšanas izsekojamība.
Uzņēmuma kvalitātes politikā teikts: "Precizitātes bizness nekad nevar būt pārāk prasīgs." Klientiem šim principam ir jābūt redzamam pārbaudes plānā, mērījumu ziņojumā, apstrādes procedūrā un tehniskajā paziņojumā{1}}ne tikai mārketinga valodā.
7. Sagatavojiet pilnīgu piedāvājumu paketi
Ātrākais veids, kā saņemt tehniski noderīgu piedāvājumu, ir nosūtīt pilnu RFQ paketi. Piedāvājuma pieprasījumā jāiekļauj pietiekami daudz informācijas, lai piegādātājs saprastu gan komponentu, gan tā lomu mašīnā.
Lūdzu, norādiet:
- 2D PDF rasējumi ar izmēriem un pielaidēm
- 3D CAD faili, ja tie ir pieejami
- Materiāla un virsmas prasības
- Kritiskās atsauces uz datumiem
- Atveres, ieliktņa, uzmavas un bukses specifikācijas
- Vadlīnijas, gaisa{0}}gultņa, motora, kodētāja vai optiskā{1}}interfeisa informācija
- Statiskie un dinamiskie slodzes apstākļi
- Informācija par mašīnu atbalstu un uzstādīšanu
- Nepieciešamais pārbaudes ziņojuma formāts
- Montāžas prasības, tīrības prasības un iepakošanas prasības
- Mērķa daudzums, projekta grafiks un piegādes galamērķis
Ja dažas specifikācijas joprojām tiek izstrādātas, norādiet pieejamo koncepcijas izkārtojumu un nosakiet jomas, kurās nepieciešama inženiertehniska apspriešana. Agrīna pārskatīšana var palīdzēt izvairīties no izmaiņām pēc apstrādes sākšanas.
Pieprasiet pielāgotu granīta bāzes piedāvājumu
Lai izvēlētos pareizo granīta iekārtu pamatni pusvadītāju iekārtām, ir nepieciešams līdzsvars starp materiālu izvēli, konstrukcijas dizainu, precizitātes pielaidi, saskarnes plānošanu, dinamisko veiktspēju un pārbaudes iespējām.
UNPARALLELED® ražo precīzas granīta sastāvdaļas pusvadītāju iekārtām, metroloģijas sistēmām, optiskās pārbaudes iekārtām, CMM platformām, lāzeriekārtām un pielāgotām automatizācijas lietojumprogrammām. Mēs esam apņēmušies nodrošināt skaidru tehnisko komunikāciju un mūsu klientu solījumu: "Nekādas krāpšanās. Nav slēpšanas. Nav maldināšanas."
Nosūtiet mums savus rasējumus, pielaides, izmērus, iekraušanas nosacījumus un pielietojuma prasības. Mūsu inženieru komanda izskatīs jūsu projektu un sniegs pielāgotu piedāvājumu jūsu granīta pamatnei, granīta metroloģijas struktūrai vai precīzai granīta montāžai.