Izstrādājot īpaši-precīzas iekārtas kustības platformas, berze ir galvenais šķērslis, kas ierobežo pozicionēšanas precizitāti un atkārtotas pozicionēšanas stabilitāti. Neatkarīgi no tā, kā priekšslodze un eļļošana ir optimizēta mehāniski saskaramām vadotnēm, starp metāliem joprojām pastāv kontakta berze. Rāpošanas efekts viegli rodas palaišanas un apturēšanas laikā. Neliela berze tieši traucē nano-mēroga pozicionēšanu. Granīta gaisa gultņu vadotnes pamatne apvieno akmens dabiskā zemā-izplešanās materiāla priekšrocības ar pneimatisko gultņu piekares principu, veidojot gandrīz bezkontakta un gandrīz bezberzes kustību sistēmu. Tas kalpo kā galvenās kustības atskaites punkts pusvadītāju, precīzā lāzera un augstas-precizitātes pārbaudes aprīkojumam.
Daudzi iekārtu ražotāji gaisa nesošo konstrukciju un pamatmateriālu apstrādā atsevišķi, pieņemot, ka kvalificēti gaisa spilventiņi vien var nodrošināt stabilu kustību bez berzes. Faktiski, ja pamatnes pamatnei ir slikta termiskā stabilitāte, mikro-deformācijas, ko izraisa apkārtējās temperatūras svārstības, tieši mainīs gaisa plēves spraugu, kā rezultātā lokālas gaisa plēves biezuma izmaiņas. Suspensijas stāvoklis ir traucēts, un parādās netieša kontakta berze, kas padara nederīgu sākotnēji paredzēto bezberzes kustību. Materiāla termiskās izplešanās īpašības ir galvenais priekšnoteikums, lai gaisa gultņu sistēma ilgstoši uzturētu bezberzes stāvokli.
UNPARALLELED Group (Zīmols: UNPARALLELED®) pilnībā izmanto UNPARALLELED® melnā granīta dabiskās zemās -izplešanās īpašības granīta gaisa gultņu vadotņu pamatņu pētniecībā un izstrādē un ražošanā, veidojot sinerģisku efektu ar gaisa gultņu tehnoloģiju, nevis vienkārši sakraujot abus. Šim blīvajam melnajam granītam ir vienmērīga kristāla struktūra un īpaši zems termiskās izplešanās koeficients. Mainoties temperatūrai, pamatnes kopējā deformācija ir vienmērīga un minimāla, bez lokālas deformācijas vai ieliektas -izliektas deformācijas. Kad darbnīcas vides temperatūra svārstās, vadotnes darba virsmas līdzenums var palikt stabils. Mikronu -mēroga sprauga starp gaisa spilventiņiem un granīta atskaites virsmu netiks izkropļota, nepārtraukti saglabājot vienmērīgu gaisa plēvi, novēršot kontaktu starp gaisa spilventiņiem un pamatnes darba virsmu un saglabājot bezberzes kustības pamatu.
Gaisa gultņu pamatprincips ir pilnībā pacelt kustīgās sastāvdaļas ar augsta{0} spiediena gaisu, veidojot vienmērīgu gaisa plēvi starp pamatnes darba virsmu un gaisa spilventiņiem, novēršot tiešu cieto kontaktu, lai novērstu cieto berzi. Tomēr gaisa plēve ir ārkārtīgi jutīga. Pat pamatnes deformācija mikronu -mērogā var samazināt lokālās spraugas un izraisīt berzi skrāpējumos. UNPARALLELED® granīta substrātam tiek veikta pilnīga novecošanās un stresa mazināšanas apstrāde, lai atbrīvotu akmens latento iekšējo stresu. Atsauces virsma nelīdīs un nedeformēsies lēni ilgstošas-slodzes ciklos un mainīgās temperatūras izmaiņās. Darba virsmu apstrādā ar īpaši-precīzu manuālu pārklāšanu, ko veikuši veterāni, lai panāktu nepārtrauktu un vienmērīgu nano-līmeņa līdzenumu. Tas nodrošina nemainīgu gaisa plēves biezumu visā kustības kustības diapazonā, tāpēc kustīgie mezgli var palikt piekārti visā gājiena laikā bez pēkšņām vietējās berzes pretestības izmaiņām.
Vēl viena vērtība, ko nodrošina materiāla zemā{0}}izplešanās īpašība, ir nemainīga kustības precizitāte. Ilgstošas nepārtrauktas darbības laikā nepārtraukta siltuma ģenerēšana no lineārajiem motoriem un optiskajiem moduļiem rada lokālu temperatūras paaugstināšanos. Parastie pamatmateriāli pēc karsēšanas rada nevienmērīgu deformāciju, pasliktinās vadotnes taisnums un gaisa plēves spraugas. Kustības pretestība kļūst nestabila, un pozicionēšanas trajektorija mainās. NEPARALĒTA granīta zemā -izplešanās īpašība nomāc šādu termiski izraisītu deformāciju. Gaisa gultņu sistēmas balstiekārtas statuss ir brīvs no vietējās temperatūras paaugstināšanās traucējumiem. Liela -ātruma skenēšanas un abpusējās kustības laikā platforma saglabā gandrīz nemainīgu zemu pretestību, nodrošinot vienmērīgāku kustības reakciju bez histerēzes un slīpsvītras kļūdas, ko izraisa mehāniskā berze.
Šis kombinētais materiāla un gaisa gultņa risinājums arī ievērojami samazina siltuma veidošanos platformas kustības laikā. Tradicionālo mehānisko vadotņu berze nepārtraukti rada berzes siltumu, kas savukārt deformē pamatni, veidojot apburto loku: berze rada siltumu → pamatnes deformācija → precīza novirze. Gandrīz bezberzes granīta gaisa gultņu vadotne kustības laikā gandrīz nerada berzes siltumu. Kopā ar granīta lielisko termisko stabilitāti šis negatīvais cikls tiek pārtraukts. Šī funkcija ir īpaši svarīga optiskajai pārbaudei, lāzera apstrādei un pusvadītāju XY kustības platformām ar ilgstošu nepārtrauktu skenēšanu. Tas garantē stabilu platformas trajektoriju ilgās darbības stundās un novērš mērījumu un apstrādes datu novirzi darbības laikā.
Ražošanā UNPARALLELED ievieš integrētu dizainu zemas{0}}izplešanās substrātam un gaisa nesošajai konstrukcijai. Gaisa kanālu izkārtojums un gaisa spilventiņu montāžas atsauces ir tieši apstrādātas uz granīta korpusa, lai izvairītos no slēpta sprieguma un deformācijas riska, ko rada dalītā montāža. Katra bāze ir pabeigta ar pārklāšanu, gaisa kanālu apstrādi un gaisa gultņu savienojuma pārbaudi nemainīgas-temperatūras, nemainīga-mitruma-bez putekļiem. Pilns izsekojamo mērinstrumentu komplekts ir pieņemts, lai pārbaudītu gaisa plēves viendabīgumu visā gājienā, apstiprinot, ka platforma var uzturēt vienmērīgu kustību bez berzes temperatūras svārstību apstākļos.
Protams, gandrīz bez berzes nenozīmē nulles berzi. Vāja viskozā pretestība no gaisa viskozitātes pastāv gaisa plēves iekšpusē, kas pieder pie šķidruma pretestības un būtiski atšķiras no cietā kontakta berzes. Šāda veida pretestība gandrīz neizraisa nodilumu, rāpošanas efektu un berzes putekļus, kas ir arī svarīgs iemesls, kāpēc granīta gaisa gultņu pamatnes tiek plaši izmantotas tīru pusvadītāju darbnīcās.
Rezumējot, gandrīz bezberzes kustību nevar panākt tikai ar gaisa nesošās konstrukcijas palīdzību. Granīta substrāts ar dabisku zemu izplešanos kalpo kā stūrakmens stabilai gaisa gultņu sistēmu darbībai. UNPARALLELED® granīta gaisa gultņu vadotnes pamatne balstās uz stabilu zemu-izplešanās melna granīta atskaites virsmu, kas ir saskaņota ar precīzi izstrādātu pneimatisko gultņu piekares sistēmu. Kustīgos mezglus vienmēr paceļ gaisa plēve, lai novērstu cieto kontaktu berzi, nodrošinot vienmērīgu kustību ar zemu histerēzi un ilglaicīgu stabilitāti, kas atbilst stingrām nano-mēroga kustības kontroles prasībām dažādām augstas{6}}ultra{7}}precizitātes iekārtām.