Kā atšķirt materiālu atlases kritērijus starp pusvadītāju tīrās telpas-klasi un vispārīgo darbgaldu-kategoriju granīts

Pieaugošais pieprasījums pēc pusvadītāju pārbaudes rīkiem, litogrāfijas iekārtām, lineārajām motora pakāpēm un precīzijas darbgaldiem ir izraisījis plašu neskaidrību par granīta izvēli. Daudzi ražotāji pusvadītāju tīrajām telpām piegādā parasto{1}}mašīnu granītu, izraisot daļiņu izdalīšanos, jonu izskalošanos, termisko precizitāti un poru piesārņojumu, kas samazina ražošanas ražu. Kā pilna -spektra ultra-precīzo substrātu piegādātājs, kas apkalpo gan tīrās telpas, gan vispārējo apstrādes sektoru, UNPARALLELED® izstrādā kvantitatīvi nosakāmus klasifikācijas standartus, kas aptver rūdas avotu, fizisko veiktspēju, saderību ar tīrām telpām, apstrādi un pārbaudi, lai palīdzētu iekārtu ražotājiem.
UNPARALLELED izmanto pašattīstītu{0}}augsta blīvuma melno granītu (≈3100 kg/m³) abām kategorijām ar atsevišķiem rūdas sijāšanas noteikumiem.
Vispārīgajam-instrumentu granītam nepieciešams tikai kompakts iezis bez caurredzamām plaisām (blīvums, kas lielāks par vai vienāds ar 2900 kg/m³). Ir pieļaujamas nelielas mikro-poras; pietiek ar pamata dabisko novecošanos. Tas ir piemērots PCB urbjiem, standarta CMM un CNC pamatnēm, paciešot darbnīcas putekļus un temperatūras svārstības.
Tīras telpas-granītam nepieciešama augstākās kvalitātes viendabīga rūda ar ūdens absorbciju, kas ir mazāka par 0,1% vai vienāda ar to, un bez irdenu kristālu kopu. Tas tiek pakļauts ilgstošai-dabiskai novecošanai, kā arī pakāpeniska pastāvīgas-temperatūras stresa mazināšanai, lai novērstu mikro-deformācijas temperatūras ciklos. Radioaktivitātes un metāla jonu izskalošanās testi ir obligāti, lai izvairītos no plāksnīšu piesārņojuma. Atšķirībā no lēta marmora vai zema-blīvuma granīta no mazām rūpnīcām, kas iztīra putekļus un nespēj atbilst ISO 5/6 tīrās telpas standartiem, UNPARALLELED stingri klasificē materiālus saskaņā ar savu apņemšanos "Nav krāpšanās, bez slēpšanas, bez maldināšanas".
Fiziskie rādītāji atbilst DIN, ASME, JIS un GB standartiem, lai atdalītu abas kategorijas.
Mašīnas-instrumenta pakāpe: lineārā izplešanās mazāka vai vienāda ar 7 × 10⁻⁶/grādu, Mosa cietība ir lielāka vai vienāda ar 6,5, Šora cietība ir lielāka vai vienāda ar 70, Ra 0,32–0,63 μm, atbilst DIN876, pamata fokusēšanas stingrība un stingrība.
Tīras telpas pakāpe: termiskā izplešanās ierobežota līdz 4 × 10⁻⁶/grāds vai vienāda ar nanopulēšanu (Ra Mazāks vai vienāds ar 0,05 μm), lai samazinātu putekļu saķeri. Nulle mikro-poru nodrošina gandrīz-nulle ūdens absorbciju un daļiņu izdalīšanu pēc noslaucīšanas. Lielāka slāpēšana nomāc mikro-vibrācijas nanometru plāksnīšu pozicionēšanai, un deformācija tiek uzturēta zem 0,5 μm pēc 100 temperatūras cikliem, lai apturētu ilgstošas ​​darbības precizitātes novirzi.
Unikālie tīrās telpas saderības testi attiecas tikai uz tīras telpas{0}}gradītu:
Daļiņu emisijas tests: daļiņu skaitītāji mēra 0,1 μm daļiņas pēc atkārtotas tīrīšanas ar stingriem ierobežojumiem tīras telpas produktiem.
Jonu izskalošanās tests: zema metāla jonu izdalīšanās novērš plāksnīšu īssavienojumu- un lēcu piesārņojumu.
Virsmas blīvējums: īpašs pārklājums ar zemu{0}}izplūdes gāzēm aizpilda mikro spraugas; Darbarīku-granīts tiek vienkārši pulēts bez blīvēšanas.
Apstrādes vidēs ir skaidras atšķirības.
Darbgaldu
Tīras telpas-klases granīts tiek pilnībā apstrādāts 10 000 ㎡ klases 10 000. klases pastāvīgās-temperatūras tīrības cehā ar 1000 mm biezu pretvibrācijas betona grīdu un 2 m dziļām triecientranšejām. Tiek pieņemti klusie paceļamie celtņi un -putekļus nesaturoši dimanta abrazīvie līdzekļi, savukārt 30+ gada veterānu slīpmašīnas veic nano spoguļu pulēšanu. Sagataves noveco izolētās tīrās montāžas zonās ar daudz augstākām ražošanas izmaksām.
Diferencētas daudzpakāpju{0}}izejošās pārbaudes un izsekojamības sistēmas nodrošina ātru identifikāciju.
Instrumentu{0}}granītam tiek veiktas trīs pamata ģeometriskās pārbaudes (izmērs, līdzenums, vertikālums), izmantojot standarta Mitutoyo mērierīces ar vienkāršiem izmēru ziņojumiem.
Tīras telpas-gradītam tiek veikta pilnīga izsekojamība, tostarp daļiņu emisija, jonu izskalošanās, ūdens absorbcija un termiskā deformācija. Mērīšanas iekārtas, piemēram, Mahr 0,5 μm skalas mērinstrumenti, Renishaw lāzera interferometri un WYLER līmeņi, ir izsekojami provinču un pašvaldību metroloģijas institūtos. Katrai sagatavei ir unikāls sērijas kods, kurā tiek glabāti visa dzīves cikla testa ieraksti, lai izietu stingrus pusvadītāju piegādātāju auditus.
Aprīkots ar ISO trīskāršo sistēmu, CE sertifikātu un vairāk nekā 20 globāliem patentiem, UNPARALLELED visā pasaulē piegādā divas granīta kategorijas. Mašīnu -instrumentu kvalitātes produkti kalpo Bosch, THK, HIWIN un vietējiem CNC ražotājiem; Cleanroom-klases substrāti atbalsta Samsung, Apple, Akribis, STI Semiconductor un Flex perovskīta pārklājumu, femtosekundes pārbaudi, AOI un rentgena tīrības līnijas. Pētniecības un attīstības komanda sadarbojas ar NUS, Čančuņas Optikas institūtu un globālajiem metroloģijas institūtiem, lai katru gadu atjauninātu tīrās telpas klasifikācijas standartus.
Ievērojot kvalitātes politiku "Precizitātes bizness nevar būt pārāk prasīgs" un garu "Uzdrīkstēties būt pirmais; drosme ieviest jauninājumus", UNPARALLELED standartizēs granīta šķirošanu, lai novērstu jauktu materiālu izmantošanu, samazinātu precizitātes zudumus un tīru telpu piesārņojumu un veicinātu globālo ultra{0}}precizitātes nozari, lai tā varētu izpildīt savu misiju - veicināt ultraprecīzu{{1} attīstību.