Sacensībās par High{0}}NA EUV litogrāfiju materiāla stingrība un svars ir ļoti svarīgi. Uzlabotā keramika (Al₂O₃/SiC) piedāvā Janga moduli 380 GPa-gandrīz divreiz vairāk nekā tērauda- un uz pusi mazāka svara. Ar siltumvadītspēju 30 W/m • K, šie komponenti nodrošina ātru un lielu{7}}paātrinājuma pozicionēšanu, kas nepieciešama mikroshēmu ražošanai, kas ir mazākas par -$5 nm$.
1. Inerces pārvarēšana ar augstas-stingrības-masas materiāliem
Liela ātruma vafeļu posmiem ir nepieciešams ārkārtējs paātrinājums bez strukturālām svārstībām.Keramikas sastāvdaļasnodrošināt augstāko pieejamo stingrības{0}}līdz-svara attiecību. Ar blīvumu tikai 3,9 g/cm³, keramikas sijas un slīdņi nodrošina ātrākus ražošanas ciklus un lielāku G-spēka kustību, vienlaikus saglabājot pozicionēšanas precizitāti ± 10 nm visā skenēšanas ceļā.
2. Siltumvadītspēja un EUV siltumslodžu izaicinājums
Extreme Ultraviolet (EUV) litogrāfija rada ievērojamu siltumu vakuumā. Atšķirībā no metāliem, kas izplešas un deformējas, alumīnija oksīdam (Al2O3) un silīcija karbīdam (SiC) ir augsta siltumvadītspēja un zema izplešanās. Šī kombinācija nodrošina efektīvu siltuma izkliedi, neizraisot mikronu-līmeņa "novirzi", kas sabojā litogrāfiskās projekcijas fokusu.
3. Kāpēc keramika ir ideāls materiāls vakuuma vidē?
Pusvadītāju priekšējie{0}}procesi notiek īpaši-augstos vakuumos, kur liela problēma ir gāzu izdalīšanās. Keramika ir ķīmiski stabila un neizdala gāzi, nodrošinot, ka nekad netiek apdraudēta vakuuma integritāte. To ne-porainā virsma arī vienkāršo tīrīšanas procesu, atbilstot stingriem 10. klases pusvadītāju vides piesārņojuma protokoliem.
4. Precīza slīpēšana: apakš-mikronu ģeometriskās pielaides sasniegšana
Keramikas cietība (Vickers cietība > 1500) padara to grūti apstrādājamu, bet neticami stabilu pēc pabeigšanas. UNPARALLELED izmanto specializētu dimanta slīpēšanu, lai panāktu līdzenumu un paralēlismu, kas ir mazāks par 0,5 μm vai vienāds ar to. Tas nodrošina, ka uz šiem komponentiem uzstādītie gaisa gultņi vai vakuuma patronas darbojas ar perfektu šķidruma -plēves konsistenci.
5. Ne-magnētiskās īpašības elektronu staru lietojumprogrammām
Elektronu staru (e-staru) litogrāfijai vai pārbaudei magnētiskie traucējumi nav pieņemami. Keramika dabiski nav-magnētiska un elektriski izolējoša, nodrošinot neitrālu vidi jutīgiem stariem. Tas novērš elektromagnētisko traucējumu ietekmi uz elektronu trajektoriju, nodrošinot, ka nanomēroga modeļi tiek iegravēti vai pārbaudīti ar absolūtu precizitāti.
Keramikas un metāla veiktspējas salīdzinājums
|
Īpašums |
Alumīnija oksīds (Al2O3) |
Nerūsējošais tērauds |
Alumīnija sakausējums |
|---|---|---|---|
|
Young's Modulus (GPa) |
350 - 380 |
200 |
70 |
|
Blīvums (g/cm³) |
3.9 |
7.9 |
2.7 |
|
Termiskā izplešanās (10⁻⁶/K) |
7.2 - 8.2 |
16.0 |
23.0 |
|
Cietība (HV) |
1,500 - 1,800 |
200 |
100 |
|
Magnētiskā ietekme |
Nav |
Augsts/vidējs |
Nav |
BUJ: Precīzijas keramika rūpniecībā
Q1: Vai 99% alumīnija oksīds ir labāks par 95% precīzām detaļām?
A: Jā. Augstāka tīrība (99%+) nodrošina labāku mehānisko izturību, augstāku dielektrisko izturību un augstāku izturību pret koroziju, kas ir ļoti svarīgas ekstremālos apstākļos, kas sastopami pusvadītāju plazmas kodināšanā vai litogrāfijā.
Q2: Vai jūs varat izgatavot pielāgotus keramikas gaisa gultņus?
A: Jā. Mēs specializējamies OEM keramikas gaisa gultņu komponentos. Apvienojot keramikas stingrību ar mūsu precīzo slīpēšanu, mēs izveidojam gaisa nesošas virsmas, kas pastāvīgi uztur zem-mikronu lidojuma-augstumu lielos pārvietošanās diapazonos.
Q3: Kā jūs izturaties pret keramikas materiālu trauslumu?
A: Lai gan keramika ir trausla, tā ir neticami spēcīga saspiešanā. Mēs izmantojam galīgo elementu analīzi (FEA), lai optimizētu dizainu, nodrošinot, ka tiek novērsta sprieguma koncentrācija un materiāla augstais modulis tiek pilnībā izmantots stingrībai.
Q4: Kāds ir parastais pasūtījuma keramikas komponentu izpildes laiks?
A: Sarežģīto apdedzināšanas un dimanta slīpēšanas procesu dēļ izpildes laiks parasti ir no 8 līdz 12 nedēļām. Tomēr mūsu integrētā piegādes ķēde ļauj mums paātrināt prototipu izstrādi kritiskiem pētniecības un attīstības projektiem pusvadītāju nozarē.
5. jautājums. Vai keramika ir piemērota lietošanai augstā temperatūrā?
A: Pārmērīgi. Alumīnija oksīda keramika saglabā savu strukturālo integritāti temperatūrā, kas pārsniedz 1500 grādus, padarot to ideāli piemērotu termiskās apstrādes iekārtām gan pusvadītāju, gan kosmosa rūpniecībā.
Q6: Kā pārbaudīt keramikas komponenta precizitāti?
A. Mēs izmantojam CMM (koordinātu mērīšanas mašīnas) ar rubīna{0}}zondēm un lāzera interferometriem, lai pārbaudītu visus izmērus. Katra detaļa tiek piegādāta kopā ar detalizētu pārbaudes ziņojumu, kas apliecina, ka tā atbilst pieprasītajām μm pielaidēm.