Mikroelektronikai sarūkot un vafeļu izmēram pieaugot, prasības, kas izvirzītas lineārās kustības sistēmām, ir sasniegušas ārkārtēju līmeni. Tradicionālās mehāniskās recirkulācijas lodīšu{1}}gultņu vadotnes ir sasniegušas savas fiziskās robežas. Berze, pretdarbība, mehāniskais nodilums un mikro-vibrācijas ierobežo to spēju samazināties. Ievadietgranīta gaisa gultņu sistēma-bezberzes kustības tehnoloģija, kas savieno melnā granīta dabisko ģeoloģisko plakanumu ar saspiesta gaisa plēvēm, lai panāktu gandrīz-perfektu lineāru kustību.
Kā darbojas granīta gaisa gultņi
Gaisa gultnis izmanto plānu, augsta spiediena pakļautu tīra, sausa gaisa slāni (parasti 5 līdz 10 mikronu biezumā), lai atbalstītu kustīgu ratiņu virs atsauces virzošā sliežu ceļa. Tā kā kariete burtiski peld pa gaisu, starp kustīgajām daļām nav fiziska kontakta.
Tomēr gaisa gultnis ir tik precīzs, cik precīzs ir virsma, uz kuras tas peld. Ja vadošā sliede ir nevienmērīga, gaisa spraugas biezums mainīsies, izraisot pēkšņas gaisa spiediena izmaiņas, kas izraisa ratiņu sasvēršanos vai vibrāciju. Tāpēc UNPARALLELED® Black Granite ir ideāls gaisa gultņu partneris: to var apstrādāt un ar rokām-pārklāt līdz -mikronu līdzenumam, nodrošinot neticami viendabīgu, gludu un izmēru stabilu virsmu gaisa plēves slīdēšanai.
Granīta gaisa gultņu galvenās priekšrocības
Nulles nodilums, bezgalīgs kalpošanas laiks: tā kā nav mehāniska kontakta, nav arī fiziska nodiluma. Sistēmas precizitāte 1000. dienā ir tāda pati kā 1. dienā. Tas krasi samazina apkopes dīkstāves laiku 24/7 tīrās telpās.
Ātruma vienmērīgums: Mehāniskie gultņi cieš no "saķeršanās" un rites pretestības izmaiņām. Gaisa gultņi nodrošina pilnīgi vienmērīgu, bezberzes kustību, nodrošinot ļoti stabilu sub-nanometra ātruma kontroli.
Ekstrēma pozicionēšanas precizitāte: apvienojumā ar lineārajiem motoriem un augstas{0}}izšķirtspējas optiskajiem kodētājiem gaisa gultņu posmi var nodrošināt sub-nanometru pozicionēšanas atkārtojamību, kas ir būtiska EUV (ekstrēmā ultravioletā) litogrāfijai un uzlabotai optiskajai pārbaudei.
Nav nepieciešama eļļošana: tradicionālajiem gultņiem ir nepieciešama smērviela vai eļļa, kas var izplūst un piesārņot vakuuma kameras vai optiskās lēcas. Gaisa gultņi darbojas ar tīru gaisu, padarot tos lieliski saderīgus ar tīru telpu-.
Pielietojuma uzmanības centrā: pusvadītāju plāksnīšu pārbaude
Pusvadītāju plāksnīšu pārbaudē (AOI/X{0}}RAY) kamerām ir jāskenē plāksnes, kas pārvietojas lielā ātrumā, vienlaikus saglabājot perfektu fokusa dziļumu. Pat niecīga vertikāla vibrācija var izpludināt attēlu. Pneimatiskā kariete, kas brauc pa īpaši-plakanu granīta vadotnes sliedēm, nodrošina, ka vertikālās novirzes (slīpums, slīpums un leņķis) praktiski nepastāv, un tas nodrošina augstu-caurlaidību, bez kļūdām{6}}bez kļūdām.
Pieprasījuma rokasgrāmata: pielāgotām gaisa{0}}gultņu portāliem ir nepieciešamas ļoti saskaņotas mehāniskās pielaides. Pieprasot cenu, inženieriem jānorāda lietderīgās kravas svars, mērķa paātrinājums un vides parametri (vakuums pret atmosfēras), lai nodrošinātu, ka granīta struktūra un gaisa sprauslas ir veidotas kā vienota, harmoniska vienība.