Nemitīgi tiecoties pēc 2 nm procesa mezgla un tālāk, pusvadītāju nozare bieži koncentrējas uz vakuuma sistēmām, EUV gaismas avotiem un sarežģītiem sensoriem. Tomēr vissvarīgākais "klusais partneris" šajā vienādojumā ir mehāniskais pamats. Tā kā vafeļu pārbaudes iekārtai ir nepieciešama sub-nanometra izšķirtspēja, konstrukcijas integritāte, ko nodrošina granīta metroloģiskā bāze vaiepoksīda granīta bāzeir kļuvis par izšķirošo faktoru atkārtojamas precizitātes sasniegšanā.
Mūsdienu vafeļu pārbaudes izaicinājums
Pusvadītāju metroloģijā galvenie ienaidnieki ir vibrācija un termiskā nestabilitāte. Tā kā skeneri un pārbaudes rīki pārvietojas ar lielāku ātrumu, lai palielinātu caurlaidspēju, tie rada inerces spēkus, kas var apdraudēt mērījumu precizitāti. Standarta tērauda vai čuguna rāmis, lai arī tas ir izturīgs, tam trūkst iekšējās amortizācijas, kas nepieciešama, lai pietiekami ātri kliedētu šīs mikro-vibrācijas atbilstoši nākamās-paaudzes skenēšanas prasībām.
Šeit svarīga kļūst materiālzinātne, kas slēpjas aiz UNPARALLELED risinājumiem. Nodrošinot masīvu, īpaši stabilu -stabilu platformu, mēs nodrošinām, ka gaisa gultņu stadija var darboties ar maksimālu veiktspēju bez ārējiem vai iekšējiem traucējumiem.
Dabīgais granīts salīdzinājumā ar epoksīda granītu: pareizā pamata izvēle
Uzņēmums UNPARALLELED Group piedāvā gan dabiskus, gan sintētiskus risinājumus, jo katram no tiem ir noteikta loma augstas{0}}precīzas ekosistēmā.
1. Dabiskā granīta pastāvīgā izcilība. Daudzus gadus granīta metroloģijas bāze ir bijusi zelta standarts. Tās galvenā priekšrocība ir tā ārkārtējā izmēru stabilitāte un zemais termiskās izplešanās koeficients. Tā kā dabiskais granīts ir novecojis miljoniem gadu, tas ir brīvs no iekšējiem spriegumiem. Statiskajai metroloģijai vai instrumentiem, kuriem nepieciešama visaugstākā virsmas līdzenuma pakāpe (bieži 000. pakāpe), dabiskais granīts joprojām ir nepārspējams.
2. Epoksīda granīta inženiertehniskā elastība Tā kā vafeļu pārbaudes iekārtu konstrukcija kļūst arvien sarežģītāka, epoksīda granīta bāzes (minerālu liešana) iegūst ievērojamu vilkmi. Šis materiāls sastāv no atlasītiem akmens pildvielām, kas savienotas ar augstas veiktspējas{2}}sveķiem.
Izcila slāpēšana: epoksīda granītam ir gandrīz desmit reižu labāks vibrāciju{0}}amortizācijas līmenis nekā čugunam un ievērojami augstāks nekā dabiskajam akmenim. Tas nodrošina ātrāku "nostādināšanas laiku" ātrgaitas-gaisa gultņu stadijai.
Integrācija: mēs varam ievietot sarežģītas funkcijas tieši pamatnē,{0}}piemēram, dzesēšanas šķidruma caurules, vītņoti ieliktņi un kabeļu caurules,-samazinot oriģinālā aprīkojuma ražotāju kopējās īpašuma izmaksas.
Gaisa gultņu skatuves saskarnes optimizēšana
Gaisa nesošā stadija ir tik laba, cik laba ir virsma, uz kuras tā peld. Pusvadītāju lietojumos gaisa sprauga bieži ir mazāka par 10 mikrometriem. Jebkura novirze pamatnes līdzenumā rada tiešu kļūdu plāksnītes fokusa plaknē.
UNPARALLELED izmanto progresīvas roku{0}}pārklāšanas metodes apvienojumā ar lāzera interferometriju, lai nodrošinātu, ka mūsu bāzes nodrošina gandrīz-perfektu plakni. Integrējot pamatni un kustības vadotni vienā, vienotā vienībā, mēs samazinām mehānisko pielaidi-. Šī holistiskā pieeja ir iemesls, kāpēc vadošie pusvadītāju iekārtu ražotāji atsakās no vairāku detaļu{5}}komplektiem uz integrētu minerālu liešanu vai monolīta granīta konstrukcijām.
Nepārspējama priekšrocība globālajā metroloģijā
Globālajai pusvadītāju piegādes ķēdei ir nepieciešams vairāk nekā tikai sastāvdaļu piegādātājs; tam ir nepieciešams partneris, kurš saprot tīro telpu saderības nianses, izplūdes standartus un ilgtermiņa ģeometrisko uzticamību. UNPARALLELED Group zināšanas gan dabīgā akmens, gan minerālu liešanā ļauj mums piedāvāt objektīvu tehnisko konsultāciju mūsu klientiem.
No sākotnējās galīgo elementu analīzes (FEA) līdz pēdējai precīzai pārklāšanai mūsu process ir izstrādāts, lai nodrošinātu, ka jūsu pusvadītāju metroloģijas rīks nodrošina visaugstāko iespējamo ražīgumu. Nozarē, kurā katrs nanometrs ir svarīgs, mēs nodrošinām stabilitāti, uz kuru varat balstīties.
Secinājums: Stabilitātes nākotnes projektēšana
Vafeļu pārbaudes iekārtu attīstība turpinās virzīt fizikas robežas. Neatkarīgi no tā, vai jūsu lietojumprogrammai ir nepieciešama klasiska granīta metroloģiskās pamatnes stabilitāte vai augstas{1}}amortizācijas, sarežģītas ģeometrijasepoksīda granīta bāze, UNPARALLELED Group ir šīs pamattehnoloģijas priekšgalā. Mēs aicinām inženierus un sistēmu integratorus izpētīt, kā mūsu materiāli var samazināt viņu nākamās paaudzes sistēmu kļūdu budžetu.