Mehāniskais kontakts ir nanometru precizitātes ienaidnieks. Precīzijas granīta vai keramikas vadotņu gaisa gultņi novērš berzi, nodilumu un vibrāciju. Šīs sistēmas nodrošina 10 nm izšķirtspēju, kas nepieciešama progresīvai pusvadītāju litogrāfijai un augstākās klases metroloģijai, un ar parasto lidojuma augstumu 5-10 μm un nulles-berzes kustību.
1. Berzes novēršana: ceļš uz bezgalīgu mehānisko dzīvi
Tā kā starp kustīgajām daļām nav fiziska kontakta, gaisa gultņu sistēmas nav nodilušas. Tas nodrošina, ka skenēšanas stadijas sākotnējā kalibrēšana paliek spēkā gadiem ilgi. Augsta -darba cikla vidēs, piemēram, vafeļu skenēšana, šis "bezgalīgais kalpošanas laiks" samazina uzturēšanas izmaksas un novērš nepieciešamību pēc eļļošanas, kas ir būtiska, lai nodrošinātu atbilstību tīras telpas prasībām.
2. Sub-mikronu taisnuma sasniegšana lielos attālumos
When an air bearing glides over a DIN 876 Grade 000 granite guide, it averages out the microscopic surface irregularities. This "averaging effect" results in motion straightness that is often superior to the physical guide itself. For long-travel applications (>1000 mm), tas nodrošina konsekventu kustības profilu ar minimālām leņķiskām kļūdām (slīpums, slīpums, leņķis).
3. Vibrāciju izolācija un kustības vienmērīgums
Mehāniskie gultņi (lodīšu vai rullīšu) rada "recirkulācijas troksni", kas traucē jutīgiem mērījumiem. Gaisa gultņi darbojas uz plānas saspiesta gaisa plēves, nodrošinot dabisku vibrācijas slāpēšanas efektu. Rezultātā tiek iegūta īpaši gluda kustība ar nenozīmīgu ātruma viļņošanos, kas ir ļoti svarīga augstas-izšķirtspējas attēlveidošanai un nanometru-mēroga virsmas profilēšanai.
4. Kāpēc granīts un keramika ir būtiski gaisa nesošie substrāti?
Gaisa gultņa veiktspēja ir pilnībā atkarīga no virsmas kvalitātes, uz kuras tas peld. Jinan melnais granīts un tehniskā keramika nodrošina ārkārtēju līdzenumu un termisko stabilitāti, kas nepieciešama, lai uzturētu nemainīgu 5 μm gaisa spraugu. Jebkura pamatnes termiskā deformācija sagrauj gultni, padarot materiāla izvēli par vissvarīgāko inženiertehnisko lēmumu.
5. Integrācija: gaisa gultņu apvienošana ar lineārajiem motoriem
Lai panāktu ātrdarbīgu{0}}nanomēroga pozicionēšanu, mēs integrējam bezdzelzs lineāros motorus ar gaisa gultņu pakāpēm. Šī kombinācija novērš "saķeršanās" un magnētiskās pievilkšanas spēkus, nodrošinot pēc iespējas tīrāko kustību. Uzņēmumā UNPARALLELED mēs nodrošinām pilnīgu mehānisko montāžu, ieskaitot granīta pamatni, gaisa gultņu ripas un motora montāžas saskarnes.
Gaisa gultņi salīdzinājumā ar mehāniskajām lineārajām vadotnēm
|
Funkcija |
Gaisa gultņi |
Mehāniskās rullīšu vadotnes |
|---|---|---|
|
Berze |
Nulle (statiska un dinamiska) |
Vidējs (slīdēšanas{0}}efekts) |
|
Nolietojums un apkope |
Nav |
Augsts (nepieciešama eļļošana) |
|
Izšķirtspēja |
Nanometra līmenis |
Mikronu līmenis |
|
Vibrācija |
Ārkārtīgi zems |
Augsts (recirkulācijas troksnis) |
|
Tīras telpas vērtējums |
1. klase (perfekti) |
100/1000 klase (nepieciešams aizzīmogojums) |
|
Izmaksas |
Premium |
Standarta |
BUJ: Gaisa gultņu tehnoloģija
Q1: Kas notiek, ja gaisa padeve neizdodas?
A. Mēs izmantojam avārijas nosēšanās virsmas vai "cietu{0}}pārklājumu" keramikas saskarnes, lai novērstu bojājumus. Mēs arī iesakām spiediena sensorus, kas iedarbina avārijas apturēšanu un ieslēdz mehāniskās bremzes, ja gaisa spiediens nokrītas zem kritiskā sliekšņa.
Q2: Kāda gaisa kvalitāte ir nepieciešama šiem gultņiem?
A. Gaisam ir jābūt filtrētam, sausam un bez eļļas-. Mēs parasti norādām ISO 8573-1. klase 1.4.1. gaisa kvalitāti, lai nodrošinātu, ka daļiņas vai mitrums neaizsprosto gaisa nesošo ripu submikronu atveres.
Q3: Vai gaisa gultņi var darboties vakuumā?
A: Jā, taču tiem ir nepieciešama vakuuma-iepriekšpielādēta konstrukcija vai specializēti diferenciāli sūknēti blīvējumi, lai novērstu gaisa noplūdi vakuuma kamerā. Tie ir izplatīti uzlabotajos EUV pusvadītāju instrumentos.
Q4: Kā gaisa gultņi iztur lielas slodzes?
A: Palielinot gultņu ripu virsmas laukumu un gaisa spiedienu (parasti 0,5–0,6 MPa), mēs varam izturēt slodzi no dažiem gramiem līdz vairākām tonnām ar tādu pašu bezberzes veiktspēju.
Q5: Vai ir grūti uzstādīt gaisa gultņu posmus?
A: Tiem nepieciešama precīza izlīdzināšana un ļoti plakana atskaites virsma. Tāpēc UNPARALLELED parasti nodrošina gaisa gultņus, kas ir iepriekš-uzmontēti un pārbaudīti uz mūsu precīzās granīta pamatnes, lai nodrošinātu "ārpus---kastes veiktspēju.
Q6: Kāda ir galvenā priekšrocība CMM ražotājiem?
A: Ātrums un precizitāte. Gaisa gultņi ļauj CMM zondei pārvietoties daudz ātrāk, neizraisot vibrācijas, tādējādi nodrošinot ātrākus pārbaudes ciklus un augstāku moderno kosmosa dzinēju sarežģīto ģeometriju precizitāti.